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  • ギガフォトン株式会社次世代露光装置開発状況
    この記事は、半導体製造に不可欠な露光技術で世界をリードするギガフォトン株式会社について解説しています。同社のエキシマレーザー光源が、どのように半導体の高性能化・高集積化に貢献しているのか、そして、次世代技術であるEUVリソグラフィへの取り組みなど、同社の技術力と挑戦について詳しく紹介しています。
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