ウシオ電機株式会社半導体露光装置技術開発動向

ウシオ電機株式会社：光技術で未来を創造する

ウシオ電機株式会社は、1964年の創業以来、常に時代のニーズを捉え、革新的な光源技術を開発し続けてきた企業である。その製品は、半導体製造装置、液晶パネル製造装置、デジタル印刷機、医療機器、照明など、幅広い分野で利用され、私たちの暮らしを陰ながら支えている。

多様な光源技術で社会に貢献

ウシオ電機株式会社の強みは、紫外線から可視光線、赤外線まで、幅広い波長領域の光源技術を有している点にある。特に、高出力の紫外線光源技術は世界トップクラスであり、半導体露光装置に不可欠なエキシマレーザーや、水銀灯に代わる環境に優しい殺菌用紫外線ランプなど、最先端の製品を生み出している。

半導体産業を支えるエキシマレーザー

エキシマレーザーは、半導体集積回路の微細加工に不可欠な露光装置の光源として用いられている。ウシオ電機株式会社は、世界で初めてエキシマレーザーの量産化に成功し、以来、世界中の半導体メーカーに高性能なエキシマレーザーを供給してきた。近年では、より微細な加工が求められるようになり、ウシオ電機株式会社は、波長が短く、より高出力なエキシマレーザーの開発にも力を入れている。

水銀フリー社会の実現を目指す殺菌用紫外線ランプ

従来、殺菌用光源としては水銀ランプが広く用いられてきたが、水銀は環境に有害な物質であるため、その使用を規制する動きが世界的に広がっている。ウシオ電機株式会社は、いち早く水銀フリーの殺菌用紫外線ランプの開発に着手し、現在では、医療機関、食品工場、浄水場など、様々な分野でその製品が利用されている。水銀フリーの殺菌用紫外線ランプは、環境保全と安全な社会の実現に貢献する技術として期待されている。

光技術の可能性を広げ、未来を創造する

ウシオ電機株式会社は、光技術のリーディングカンパニーとして、常に新しい可能性に挑戦し続けている。近年では、AIやIoTなどの先端技術と光技術を融合させることで、医療分野における診断・治療の高度化、農業分野における生産性向上、セキュリティ分野における安全性の向上など、様々な分野で新たな価値を創造しようとしている。

医療分野における光技術の応用

ウシオ電機株式会社は、長年培ってきた光技術を生かし、医療分野においても革新的な製品を開発している。例えば、がんの早期発見に貢献する光免疫療法用レーザーや、アルツハイマー病の治療に効果が期待される近赤外線LEDなど、人々の健康と福祉に貢献する技術を生み出している。

農業分野における光技術の応用

食料生産の安定化は、世界共通の課題である。ウシオ電機株式会社は、独自のLED照明技術を用いることで、植物工場における野菜の生育を促進し、収穫量や品質を向上させる技術を開発している。また、害虫を誘引する特定の波長の光を利用した害虫防除技術の開発など、環境に優しい農業の実現にも貢献している。

セキュリティ分野における光技術の応用

近年、セキュリティの重要性が高まる中で、ウシオ電機株式会社は、高感度なセンサー技術と光技術を組み合わせることで、従来よりも高度なセキュリティシステムを実現しようとしている。例えば、指紋や顔の静脈パターンなど、個人特有の生体情報を高精度に認証するシステムは、セキュリティレベルの向上に大きく貢献することが期待されている。

ウシオ電機株式会社は、これからも、光技術の無限の可能性を追求し、人々の暮らしを豊かにし、持続可能な社会の実現に貢献していく。